実験装置 半導体プロセス用クリーンルーム 極低温超高真空非接触原子間力/走査型トンネル顕微鏡 超高真空非接触原子間力/走査型トンネル顕微鏡（２台） 高速原子間力顕微鏡（４台） パルスレーザー堆積法装置 電子・イオン・デュアルビーム加工装置 電子ビーム露光装置 波長可変UVレーザ装置、KrFエキシマーレーザ加工装置、ファイバーレーザ X線CCDカメラ 各種計測機器（スペクトラムアナライザ、ネットワークアナライザ等）